ASML宣布英特尔已使用High-NA EUV光刻技术
文章出处： 人气：发表时间：2026-07-23 11:31
ASML宣布，英特尔正在Intel 18A工艺上采用High-NA EUV光刻技术，生产部分代号“Panther Lake”的第三代酷睿Ultra系列处理器，成为了业界首个采用High-NA EUV光刻技术大规模生产逻辑芯片的企业。目前英特尔位于美国俄勒冈州希尔斯伯勒的Intel 18A生产线已完成High-NA EUV双重认证，良品率达到了现有NXE EUV平台的水平。
ASML表示，过去数十年里，与英特尔一直保持紧密合作推动光刻技术的发展，并支持半导体的持续扩展。High-NA EUV是极紫外光刻技术发展历程里非常重要的下一步，旨在为先进芯片制造提供更精确的图案化能力。未来双方将在High-NA EUV技术准备方面继续展开密切合作，并根据客户需求灵活将其整合到未来制程节点中。
2023年末，ASML向英特尔交付了首台High-NA EUV光刻机，型号为TWINSCAN EXE:5000的系统。英特尔将其作为试验机，于2024年4月在美国俄勒冈州希尔斯伯勒的Fab D1X完成安装。提供0.55数值孔径，与此前配备0.33数值孔径透镜的EUV系统相比，精度会有所提高，可以实现更高分辨率的图案化，以实现更小的晶体管特征。
去年末，英特尔安装了新的TWINSCAN EXE:5200B系统，属于第二代High-NA EUV，是目前全球最先进的光刻机。新系统还提升了套刻精度，达到了0.7nm，这是建立在英特尔之前一年多对High-NA EUV光刻机使用经验之上。
同类文章排行
- 明天最後機會！00940確定配息「0.0
- 分析／法院新聞稿透露玄機 鄭文燦免押關鍵
- 媒體指稱拆樑連署錯誤百出 公民團體聲明打
- 【最狂毒梟殺檢案1】檢察官遇襲身中12槍
- 空飄垃圾氣球遭「韓網群嘲」成迷因！北韓今
- 民眾黨榮星花園晚會人數不如預期？ 黃國昌
- 小米副董「賣持股進帳73億」挨轟背信 集
- 鈊象：營運朝正面發展 導入AI輔助產品設
- 權值雙雄休兵 台股早盤跌逾250點失守2
- 駐美代表：談AI半導體不提台灣 就像吃無
最新资讯文章
- 三星供应新款笔电串联OLED面板 满足T
- Windows安全更新翻车！高刷新率显示
- 黄仁勋原味皮衣拍卖结果出炉 卖出96万美
- 中国机器人头掉了还能坚持格斗 马斯克称看
- Win11最低4GB内存要求形同虚设 自
- PC厂商争夺长鑫存储DRAM供应 订单排
- 用小拇指做手机支架的受害者出现了：手指出
- 英特尔前CEO承认当年过于傲慢 看不上英
- 暴跌30%！宝马终向中国市场低头：停产旧
- 全球首个“代码对决”机器人格斗赛在深圳打
- 印度首列全自主氢能列车启用 最高75km
- realme真我手机官宣退出中国市场 全
- Win11今年已消灭1380个漏洞 微软
- 苹果AI国行版已过审 百度将为苹果提供A
- 英国要没下一代了！研究称近五分之一英国男
- ASML宣布英特尔已使用High-NA
- 古法测试刷屏 网友称匠人精神造车 小米：
- 微软警告：Windows更新别拖超过三天
- 全球首款机器人手机通过认证 自带隐藏机械
- 面对车主愤怒，特斯拉副总裁称降价是为提升
